LANTO为华南理工设计的CVD配气仪优点

       化学气相沉积(CVD)是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法，是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术，包括大范围的绝缘材料，大多数金属材料和金属合金材料。它有一个基本特征：CVD工艺中反应物必须以气相形式参与反应，配气仪是其最重要的供气设备。

LANTO为华南理工大学设计制作的配气仪，具有以下优点：
1、多通道配气，可配置五种组份气体；
2、采用进口质量流量控制器MFC，精度1%；流量稳定，精确度高；
3、仪器内部的连接气路采用316L不锈钢材质，避免气路腐蚀和吸附，大大提高了混合气的精确度；
4、液晶触摸显示屏，触摸灵敏，全中文菜单，操作简单易学；
5、仪器体积小，结构紧凑，重量轻。

    广州朗拓仪器设备有限公司成立于2012年，是一家专注于气体应用科技的高新技术企业。公司业务涵盖电子特气系统、实验室气路系统、高纯气体及特殊工艺气体二次配管系统、氢能源供气系统、模块化高压储气供气系统等，提供从技术咨询、整体规划、系统设计、选定设备、预制组件、项目现场安装建设、整体系统检测等全套工程技术服务和配套产品。
       公司旗下拥有LANTO®、BY-LOK®等行业知名品牌，自主研发及生产气体半自动切换汇流排、气体减压器、管阀件、接头；气体混合配比仪；超高纯供气面板；特气柜、VMB阀门箱；科研测试设备；超高压、超低温气体系统；高真空系统；气体取样系统等产品，经国家认证实验室检测合格，广泛应用于高校实验室、科研检测单位、半导体、微电子、生物制药、医疗、光伏、LED、石油化工、电力、新材料、新能源等领域。