ALICAT质量流量控制器

多样化的选择：

* LKD13低压损
适用于低压工况环境，最大标准量程：0-1000slpm。

* LK2常规型
最大标准量程：0-5000slpm
最小标准量程：0-0.5sccm

* LKJ3带截止阀
漏率低，适合用于半导体行业应用

* LKF5耐腐蚀
与介质接触部分采用316L不锈钢材料

产品特点：

1、100ms的典型控制响应时间

2、PID参数可调整控制速度更快、更平稳

3、阀门参数可选择，让控制最优化

4、1台设备不仅仅控制质量流量，还可以控制压力

5、不需要预热通电即可使用

基本参数：

精度：0.8%的读数精度+0.2%的满量程精度

           有高精度0.4%的读数精度+0.2%的满量程精度可选

线性范围：0.2%-100%满量程

适用介质：内置98-130种气体曲线，可自由切换

控制方式：可采用数字通讯和模拟信号控制

显示屏：可同时显示设定值和反馈值，不仅显示流量还可以显示压力和温度

独立控制：可以通过设备屏幕按钮进行操作控制，不需要PLC或PC