fujikin富士金IGS集成化超高纯气体系统日本进口
日本fujikin富士金IGS集成化超高纯气体系统
IGS的基本概念
①基本技术的高性能化：安全，洁净
②小型化
③提高可靠性
Wseal：密封部分于承受外力部分分离
水平系统：以七米部位与中心的基民施工结构
镀银螺帽及螺丝
④提高施工性、维护性
构成部件的完全上部拆装方式
泄漏端口、专用工具
⑤标准化的推进
⑥降低成本
IGS的基本概念
①基本技术的高性能化：安全，洁净
②小型化
③提高可靠性
Wseal：密封部分于承受外力部分分离
水平系统：以七米部位与中心的基民施工结构
镀银螺帽及螺丝
④提高施工性、维护性
构成部件的完全上部拆装方式
泄漏端口、专用工具
⑤标准化的推进
⑥降低成本
