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产品中心
PRODUCT CENTER
优点:
1、多功能。监控流速的同时控制压力;可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
2、连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通讯选项,可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
3、耐用。MC系列气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性,我们可为您的质量流量控制器构建IP66等级防护。
性能:
可用量程:最大0-5000 slpm;最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常备量程,参见零件编号标签)
可调比:200:1(MC系列)或100:1(MCS系列)
标准精度(NIST可溯源):±(0.8%读数+0.2%满量程)
高精度(选配,NIST可溯源):±(0.4%读数+0.2%满量程)
可重复性:0.2%满量程
标准质量流量控制器响应时间常数:50-100ms(若有PID调节功能,可缩短至25ms)
无需预热时间
工作条件:
兼容气体:98(MC系列)或130(MCS系列)种预置可选气体;利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体
工作温度:-10°C至+60°C
最大内部压力(静态):145 psig(160 psia)
耐受压力:175 psig(190 psia)
产品详情
咨询热线:186-6465-3495