PARKER派克UHP 超高纯贴面安装隔膜阀手动或气动– SM955 系列

        派克SM955系列贴面安装不锈钢阀体隔膜阀提供优异的泄露完整性、高循环寿命和低粒子生成，使其UHP超高纯半导体应用的理想选择。

       SM955系列与工艺流体接触部分无螺纹或弹簧，大限度地减少粒子生成和气体截留，减少对半导体应用至关重要的过程污染。阀门的严格设计控制阀座和膜片应力，提供稳定和无需维护使用寿命。

       SM955系列接液部件由特殊金属制备，提供优异的耐腐蚀性和泄露完整性。阀体为内部电解抛光Vericlean" 316L不锈钢。Vericlean”是派克的UHP超高纯级不锈钢。隔膜材料为高强度钴基合金。

       SM955系列同时提供PCTFE,PEKR和Vespel⑧阀座材料，允许SM955与多种工艺流体兼容。这些材料由SM955系列严格设计组成，使          SM955系列具有强耐腐蚀性和更高循环寿命，入口压力高达250 psig.SM955系列气动阀可配套限位开关或接近开关提供开-关位置指示。也有多种阀体结构，包括955Y(Y阀）和955(面密封和短管接口).

       SM955系列阀门的内部（阀座）密封和金属外部密封通过氦泄漏测试，使用质谱仪以获得在苛刻超高纯应用中的性能和稳定性.

市场:
·半导体·分析试验室·制药
·生物制药航空航天·工业

特点/优势:
·有标准和高流量C密封和W密封·1-1/2
贴面安装阀体尺寸
·流量范围.25Cv (手动标准C密封)至.50 Cv(气动高流量C密封)·5微英寸(Ra粗糙度)电抛光表面处理
·高循环寿命(包括腐蚀性工矿)
·内部无弹簧无螺纹，大限度地减少粒子生成和气体截留·压力范围:真空到250 psig
·内漏率:<1x 10-9立方厘米/秒He
·外漏率:≤2x10-10 scc/sec立方厘米/秒He·常规气动动作压力75 psig

应用:
·腐蚀性和特殊气体·半导体工具
·工具挂钩·气体柜
·阀组箱(VMB)