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产品中心
PRODUCT CENTER
产品信息:
派克955系列1-1/4英寸不锈钢阀体隔膜阀能够提供出色的抗漏能力,长久的使用寿命以及低杂质生成。这些优点使它成为高纯半导体应用的理想选择。
955系列在过程流体的使用中采用无螺纹及弹簧连接,这种设计能够大限度的减少杂质的生成并且可以使过程减少污染,而这是半导体应用的关键。严格的阀门设计能够控制阀座及膜片的压力,从而提供稳定的免维护的使用寿命。
这些材质组成了955系列严格的设计特征,为955系列提供了卓越的抗腐蚀性,在入口压力250 psig时达到更大的使用寿命。
955系列的气动阀被设定成能够用限位开关或接近开关来提供开-关的位置指示。这个设定也应用在多阀体构造中,包括955Y(Y阀)和SM955(表面组装)。
955系列阀的内部(阀座)密封和金属外部密封均采用质谱仪进行氦气泄漏测试,以获得其在高要求的超高纯应用中有出色稳定的表现。
市场需求:
• 半导体
• 分析实验室
• 制药业
• 生物制药业
• 航空航天
• 工业
特点/优势:
• 5微英寸(Ra)电解抛光表面光洁度
• 高使用寿命(包含腐蚀性条件下)
• 内部无弹簧和无螺纹设计,更大限度的减少了杂质的生成和气体的卷入
• 从真空到250 psig适用
• 内部泄漏率:≤ 1 x 10-9 scc/sec He
• 外部泄漏率:≤ 2 x 10-10 scc/sec He
• 标称AOP驱动压力为75 psig
应用:
• 腐蚀性和特殊气体
• 半导体工具
• 工具连接
• 特气柜
• 阀箱
产品详情
咨询热线:186-6465-3495