FUJIKIN富士金Mega系列超高纯高耐用气动隔膜阀

应用行业：半导体、太阳能、液晶面板制造等行业，或者其他一些有超高纯流体要求的行业。

应用流体：设备和机台里面的超高纯气体、易燃易爆气体以及有毒气体等特种电子气体。

工作压力：低压(1MPa),高压(16.2MPa)。

工作温度：-10℃-80℃

动作方式：手动和气动。

气动阀有常开和常闭两种初始状态可选。

连接方式:焊接、卡套、VCR等连接方式

表面处理：EP(标准)，10Ra,Ry＜1.0um; UP (可选)：5Ra,Ry＜0.7um。

接口尺寸：1/4”-3/4”

Mega系列高耐用型膜片阀：在Mega系列膜片阀性能基础上，具备着卓越的耐用性，使用次数可达到3000万次以上，并且Cv值更高。

电子式小型直接隔膜阀（ECV）：特殊材料以及高纯度气体用直接式隔膜阀，采用超强力螺线管，使其制动器实现小型化的同时，高速关闭也成为可能。