TKF超高纯金属微型气体过滤器METAL系列
TKF超高纯金属微型气体过滤器316 L不锈钢结构，体积小、100%氦泄漏试验、冲击或振动可靠性高DI水清洗后用热氮烘焙达到半导体工艺标准。
品 名：微型气体过滤器
品 牌: TKF
阀体材质：316L不锈钢
产品信息：
1、316 L不锈钢结构；
2、高温动态压力应用；
3、体积小，冲击或振动可靠性高；
4、宽范围流量从30到120 SLPM；
5、与高纯度半导体工艺气体的良好相容性；
6、3纳米颗粒过滤性能保持高效率和最小压降；
7、5ra电抛光表面防止内部污染；
8、DI水清洗后用热氮烘焙，达到半导体工艺标准；
9、100级制造、清洁及包装环境；
10、100%氦泄漏试验。
