TKF超高纯在线高流量气体过滤器

品    名：在线高流量气体过滤器

品    牌 :  TKF

阀体材质：316L不锈钢

产品信息：

1、316 L不锈钢结构；

2、高温动态压力应用；

3、体积小，冲击或振动可靠性高；

4、宽范围流量从30到120 SLPM；

5、与高纯度半导体工艺气体的良好相容性；

6、3纳米颗粒过滤性能保持高效率和最小压降；

7、5ra电抛光表面防止内部污染；

8、DI水清洗后用热氮烘焙，达到半导体工艺标准；

9、100级制造、清洁及包装环境；

10、100%氦泄漏试验；