TKF超高纯度在线高流量气体过滤器HH-H系列
TKF超高纯度在线高流量气体过滤器HH-H系列具有优良的惰性或腐蚀性气体应用性能的耐腐蚀黑色合金阀体，应用于高校实验室、科研检测单位、半导体、微电子、生物制药、医疗、光伏、LED、石油化工、电力、新材料、新能源等领域。
品 名：在线高流量气体过滤器
品 牌: TKF
阀体材质：316L不锈钢
产品特征：
1、超高纯度在线高流量气体过滤器；
2、所有哈斯特洛结构；
3、高温动态压力应用；
4、紧凑的尺寸和可变的端部连接；
5、宽范围流量从100到800 SLPM；
6、具有优良的惰性或腐蚀性气体应用性能的耐腐蚀黑色合金阀体；
7、3纳米颗粒过滤性能保持高效率和最小压降；
8、5ra电抛光表面防止内部污染；
9、DI水清洗后用热氮烘焙，达到半导体工艺标准；
10、100级制造、清洁及包装环境；
11、100%氦泄漏试验。
