TKF超高纯金属气体扩散器SETAL系列
TKF超高纯金属气体扩散器SETAL系列DI水清洗后用热氮烘焙，达到半导体工艺标准；100%氦泄漏试验；应用于高校实验室、科研检测单位、半导体、微电子、生物制药、医疗、光伏、LED、石油化工、电力、新材料、新能源等领域。
品 名：金属气体扩散器
品 牌: TKF
阀体材质：316L不锈钢
特点：
1、316 L不锈钢元件；
2、高温应用；
3、体积小，冲击或振动可靠性高；
4、宽范围流量从60到300 SLPM；
5、与高纯度半导体工艺气体的良好相容性；
6、3纳米颗粒过滤性能保持高效率和最小压降；
7、5ra电抛光表面防止内部污染；
8、DI水清洗后用热氮烘焙，达到半导体工艺标准；
9、100%氦泄漏试验。
