TKF超高纯调节器Rg1系列
TKF超高纯调节器Rg1系列专为用于工艺气柜的使用介质流而设计供气公司，设备制造商和半导体制造商；精确控制气体压力在或接近工艺工具时的流量在300 PSIaG进口处，可达250 SLPM。
品名：调节器Rg1系列
品牌: TKF
阀体材质：316L不锈钢
产品信息：
·专为用于工艺气柜的使用介质流而设计供气公司，设备制造商和半导体
制造商；
·精确控制气体压力在或接近工艺工具时的流量在300 PSIaG进口处，可
达250 SLPM；
·所有内部表面均用10 Ra或5RA完成，以确保最小颗粒产生和诱捕。金
属对金属隔膜密封加强了防泄漏的完整性；
·在课堂上完成装配、焊接、测试和最后清洗的每一步100间洁净室。
