日本进口KOFLOC3760标准质量流量计-LANTO朗拓MFC控制器

优点：

配备流量传感器，采用改进的恒流温差检测方法，实现高速响应

标准规格：

流量范围： （N2转换20°C / 1 ATM）    10SCCM~20SLM（可选）
传感器方式：热绕组传感器
响应速度：在2秒内
准确性：±1.0％FS（25°C）
温度系数：±0.1％FS /°C（15~35°C）
再现性：±0.5％F.S.（20°C）
耐压：980kPa（G）
He泄漏率（* 1）：1 x 10-8 Pa.m3/s以下
允许周围温度：5~45℃
允许环境湿度：10~90%RH（无结露）
气体接触材料：
车身SUS316L
密封材料FKM（选件CR或NBR）
电气连接：Dsub 9针KFC标准（符合SEMI标准）
流量输出信号：0~5 VDC（外部负载电阻250kΩ以上）
所需电源：+15 VDC（±5％）100 mA
重量：约800g

（* 1）不含渗透。
长期渗透引起的泄漏量（参考值）为1×10-6Pa・m3 / sec以下。