半导体集成电路案例 / 

      特种气体、大宗气体都是半导体生产过程中不可或缺的。半导体用特种气体有大量易燃易爆、剧毒、腐蚀性气体，例如硅烷SiH4，磷烷PH3，四氟化碳CF4，氯气Cl2等。半导体特气以  超高纯气体为主，特气管道系统由储存、输送、分配以及控制设备组成。储存设备为BSGS大宗特气系统以及特气柜GC等，输送一般采用EP级不锈钢管道（危险气体采用双套管），二次配部分采用气体分配柜VMB，控制采用气体管理系统GMs。

       LANTO朗拓科技的超高纯气体输送系列解决方案，关注从气源到使用点，再到尾气处理的每一个环节，设计、制造、现场安装调试到运行管理和维护保养等。解决方案实现安全稳定、无污染、满足工艺制程要求的供应，是产线良率保障的关键系统之一，满足工艺的同时也兼顾环保达标排放。特气系统广泛应用于半导体、微电子、光伏等行业。