气体应用科技

实验室高纯气路

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       Entegris英特格提供一系列用于过滤,处理,分配和保护在半导体制造工艺和其他高技术制造中使用的关键材料产品。该部门的产品和子系统包括高纯度材料包装,流体处理和分配系统以及液体过滤器,以及保护关键衬底(如运输和制造操作中的晶片)的微环境产品。它还提供用于高温应用的专用石墨组分和特种涂料。       

       Entegris英特格提供能够实现半导体制造的性能材料,材料封装和材料输送系统。其产品包括专业化学品和性能材料,气体微粒控制系统和组件,以及亚大气压力气体输送系统,用于处理半导体工艺设备的有害气体。

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