日本KOFLOC5100高级金属密封质量流量控制器-LANTO朗拓MFC
日本KOFLOC5100系列是一款质量流量控制器，它实现了无焊接结构（VCR规格），金属密封的基本性能，以及半导体工艺气体控制所需的±1％精度。板载传感器的响应能力。它具有出色的分辨率，可以处理1 sccm（N2）的微流量。
优点：
1、通过使用温度跟踪型电流差检测流量传感器实现高精度，高速传感器响应
2、采用电磁铁电磁阀常闭阀
3、由于无焊接结构（VCR规格），金属密封，泄漏低
4、采用隔膜阀，减少死体积
5、面对面，体型和接线连接与其他公司的更换兼容
标准规格：
流量范围：（N2转换20°C / 1 ATM） 1SCCM~20SLM（任意条件选择）
传感器方式：热绕组传感器
阀门方式：比例螺线管阀门（未通电时关闭）
控制范围：2~100％（F.S.）
响应速度：1秒内（±2％F.S.内）
准确性：±1％F.S.
温度系数：0.1％F.S./°C（15~35°C）
再现性：±0.2%F.S.
操作压差范围：F.S.≤5SLM50. 300kPa
可工作压力：300kPa（G）以下
耐压：980kPa（G）
He泄漏率：1 x 10-11 Pa.m3/s以下
允许周围温度：0~50℃
允许环境湿度：10~90%RH（无结露）
气体接触材料：
车身SUS316L
隔膜SUS316L
阀座PTFE
密封材料SUS316L，Ni，Au
重量：约1000g
