日本KOFLOC5410低成本金属密封质量流量计-LANTO朗拓MFC控制器
日本KOFLOC5410型是一种质量流量计，具有进一步改进的基本性能。虽然外观是传统产品，但传感器驱动方法已得到改进，以减少零漂移。它是一种通过金属密封结构具有高气密性的产品，并增加了切口接头。
优点：
1、提高每个流量范围的精度
2、适用于微流量（选项规格）
3、由于无焊接结构（VCR规格），金属密封，泄漏低
4、价格便宜
标准规格：
流量范围：（N2转换20°C / 1 ATM） 1SCCM~20SLM（任意条件选择）
传感器方式：热绕组传感器
准确性：±1％F.S.（20°C）
温度系数：0.1％F.S./°C（15~35°C）
再现性：±0.2%F.S.（20°C）内
可工作压力：300kPa（G）以下
耐压：980kPa（G）
He泄漏率：1 x 10-11 Pa.m3/s以下
允许周围温度：0~50℃（精度保证温度15.35°C±0.1％FS /°C）
允许环境湿度：10~90%RH（无结露）
气体接触材料：
车身SUS316L
隔膜Ni.Co
阀座PTFE
密封材料SUS316L，Ni
电气连接：Dsub 9针KFC 标准（符合SEMI标准）
输入信号：0~5 VDC（最小负载电阻250kΩ以上）
所需电源;+15 VDC（±5％）100 mA，-15 VDC（±5％）100 mA
重量：约800g
