TKF超高纯内插式不锈钢气体过滤器SS-C系列
TKF超高纯内插式不锈钢气体过滤器316 L不锈钢结构、高温动态压力应用、与高纯度半导体工艺气体的良好相容性、DI水清洗后用热氮烘焙，达到半导体工艺标准、100%氦泄漏试验。
品 名：内插式气体过滤器
品 牌 : TKF
阀体材质：316L不锈钢
特征：
1、316 L不锈钢结构；
2、高温动态压力应用；
3、适用于高流量应用；
4、与高纯度半导体工艺气体的良好相容性；
5、3纳米颗粒过滤性能保持较高的流动效率和最小的压降；
6、5ra电抛光表面防止内部污染；
7、DI水清洗后用热氮烘焙，达到半导体工艺标准；
8、100%氦泄漏试验。
